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產品中心
PRODUCT CENTER
光刻膠材料
  • 彩色光刻膠
  • TFT用正性光刻膠
  • 產品特性

    1、色彩表現:高穿透度、高飽和度、高對比度

    2、制程特性:高涂布均勻性、高感光度、較大顯影制程窗口

    3、可靠度:高耐熱性、高耐光性、高耐化學性、高儲存穩定性

  • 產品分類

    依據客戶需求調整規格

  • 形貌(SEM)


  • 產品特性

    具有曝光靈敏度高、對比度高、分辨率高、且具有良好的工藝寬裕度。可應用于AMOLED、LCD及相關半導體制造工藝

  • 產品應用

    滿足于i-線,g-線、g-h-i線曝光,可實現1.5μm分辨率

  • 參考工藝

    涂布:spin或slit
    前烘:110℃,160sec
    曝光: i-線,g-線、g-h-i線曝光
    顯影:TMAH 2.38% ,60s
    堅膜:130 ℃ ,140sec

  • 1.5um
  • 1.8um

  • 3um
  • 4um
  • 6um

  • 8um